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液体流量控制 injection valve，LFC 等
设备备件支持+后道功率封装耗材
AMAT MxP-5200/MxP-5200/Poly 8
刻蚀ESC
AMAT MxP-5200/MxP-5200/Poly 8" Jeida
供应商：Applied Materials【AMAT】
ESC类型：
MxP-5200
Poly 8" Jeida

P/N：
0010-10528
0040-09956
0040-09957
0040-09961
0041-37692
0020-32963
0041-37395
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