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液体流量控制 injection valve，LFC 等
设备备件支持+后道功率封装耗材
AMAT MxP-5200 P5000/oxide etch double notch 8
刻蚀ESC
AMAT MxP-5200 P5000/oxide etch double notch 8" Flat
供应商：Applied Materials【AMAT】
ESC类型：
oxide etch double notch 8" Flat

P/N：
0040-31813 REV.B
0040-31815 REV.B
产品说明