Lam Rainbow 4420 4“ 5” 6“ 8” clamp or ESC-Lam-静电卡盘ESC,静电吸盘,液体流量控制阀,液体流量计LFC-无锡方克斯

Lam

Lam Rainbow 4420 4“ 5” 6“ 8” clamp or ESC

厂商：Lam

设备型号：
Rainbow 4420
晶圆尺寸：
4“、5”、6“、8”
电极类型：
clamp or ESC
典型工艺：
Poly etch
Nitride etch
Poly etch

产品说明