Lam TCP9600 6“ 8” clamp or ESC-Lam-静电卡盘ESC,静电吸盘,液体流量控制阀,液体流量计LFC-无锡方克斯

Lam

Lam TCP9600 6“ 8” clamp or ESC

厂商：Lam

设备型号：
TCP9600
晶圆尺寸：
6“、8”
电极类型：
clamp or ESC
典型工艺：
Metal etch & Asher
Tungsten etch

产品说明