NOVELLUS C1-150/C1-200 Heater-PECVD-NOVELLUS-静电卡盘ESC,静电吸盘,液体流量控制阀,液体流量计LFC-无锡方克斯

NOVELLUS

NOVELLUS C1-150/C1-200 Heater-PECVD

厂商：NOVELLUS

设备型号：
C1-150 /C1-200
加热类型：
Heater-PECVD
典型工艺：
Undoped Silane SiO2
Doped Silane SiO2 --PSG,BPSG
Undoped TEOS SiO2
Doped TEOS SiO2 --P-TEOS --BP-TEOS
Silane Si3N4

产品说明