时间：2024-09-14
静电卡盘的主要应用
静电卡盘（ESC, E—Chuck）是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具，其主要应用包括：
半导体工艺：用于吸附超洁净薄片，如硅片，并保持其平坦度，抑制工艺中的变形，同时能够调节温度1。
集成电路制造：作为晶圆的承载和搬运设备，在集成电路制造中起关键作用，该行业的发展对静电卡盘esc行业有重要影响2。
真空和等离子体环境：适用于真空和等离子体环境，广泛应用于等离子和真空环境下的半导体工艺过程中，如刻蚀、化学气相沉淀、离子植入等3。
综上所述，静电卡盘在半导体工艺和集成电路制造中有着广泛的应用。
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