静电卡盘，它到底是啥？

在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤，圆片需要在多达几百种的工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工过程中，圆片必须被十分平稳、固定地安放在工艺设备上。静电卡盘静电吸附技术在泛半导体、光学等领域中有着广泛应用。静电卡盘（E-CHUCK）是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。静电卡盘，静电吸盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称。静电卡盘所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。无锡方克斯电子科技有限公司逐步涉及半导体核心零部件国产化替代，重点是静电卡盘（ESC）国产化设计。我们承诺全心全意为半导体生产厂家提供专业、独特、满意的服务主要业务范围CVD设备、PVD设备、刻蚀设备整机翻新、调试、故障排除。 国产静电卡盘（ESC）设计开发。想了解更多静电卡盘相关信息，请跟我们联系或者访问方克斯网站http://www.focusdz.com/

半导体设备市场快速发展带动静电卡盘行业规模增长 国产化替代需求···

1、静电卡盘概述根据观研报告网发布的《中国静电卡盘行业发展深度研究与投资前景分析报告（2024-2031年）》显示，卡盘是一种常见的夹紧装置，主要用于固定工件以便进行加工、测量、装配等操作。卡盘可以根据其工作原理、结构形式、夹紧方式等方面的不同，分为多种类型，常见的卡盘类型包括：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘由于其对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。静电卡盘（E-Chuck），是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面，并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度的设备，其主要由介电层、电极层、基底层三大部分组成。这三个部分以层状结构由表向里堆叠而成，内部还镶嵌有电极柱、气体通道、粘结材料等部分。卡盘分类及特点工作原理优点缺点适用场景利用机械夹具夹紧工件结构简单、成本低廉、夹持力大精度较低、可能对工件产生损伤大型工件加工利用真空吸盘吸附工件对工件损伤较小夹力较小，无法工作于真空环境且无法对硅片温度进行控制轻薄工件的加工利用静电力对工件进行吸附对工件损伤小、精度高结构复杂、成本高、片间吸附稳定性弱、脱附时间长半导体等高精度加工场景资料来源：观研天下整理2、半导体设备规模持续扩张，静电卡盘前景可观近年来，随着5G、人工智能、物联网快速发展以及国家政策对半导体产业大力扶植，我国半导体设备市场规模不断扩大。根据数据显示，2022年我国大陆半导体设备市场规模约为283亿美元，同比下降4.6%。数据来源：观研天下整理静电卡盘使用寿命约为2年，短于半导体腔体的使用寿命，部分晶圆厂有直接备存静电卡盘的需求。根据数据，我国晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的9%。因此，随着我国半导体设备市场规模持续扩张，静电卡盘前景可观。数据来源：观研天下整理3、半导体设备市场规模持续扩张带动静电卡盘市场规模的增长根据数据显示，2021年全球静电卡盘市场销售额17.1亿美元，2017-2021年的复合年增长率为2.5%，预计2028年市场销售额将达到24.1亿美元，2022-2028年的年复合增长率为5.1%。数据来源：观研天下整理4、静电卡盘存在被“卡脖子”风险，国产化替代需求迫切目前，我国静电卡盘市场被Applied Materials、Shinko、TOTO、NTK等美、日制造商高度垄断。而在2023年5月23日，日本经济产业省正式公布了《外汇法》法令修正案，将先进芯片制造所需的23个品类的半导体设备列入出口管理的管制对象，其中包括具有20个以上温控区静电卡盘的各向异性刻蚀设备。由此可见，我国静电卡盘国产化替代迫在眉睫。不过，目前，国产企业已经开展静电卡盘研发，并且已取得了许多实质性的进展。

静电卡盘国产化，半导体零部件的艰难突围

静电卡盘是一种广泛应用于半导体制造的关键零部件，用于夹持和定位半导体芯片。在过去，中国半导体产业中对于静电卡盘主要依赖进口，这给国内半导体制造带来了很大不便。鉴于国际贸易摩擦和技术保护的压力，中国决定加大静电卡盘国产化的力度。然而，要实现这个目标并不容易，面临着一系列技术和市场困难。技术突破的艰辛静电卡盘作为高精度的零部件，要求具备极低的摩擦系数、稳定的力学性能和高精度的定位能力。为了实现国产化，中国半导体企业积极进行技术攻关。经过多年的努力，国内企业取得了一定的突破。他们改进了工艺流程，优化了材料配比，并且开发出了一些创新的设计方法。这些技术进步使得国产静电卡盘的性能得到了显著提升。市场竞争的挑战国产静电卡盘面临着来自国外厂商的激烈竞争。国外厂商凭借着成熟的技术和品牌优势，占据了市场的主导地位。为了在市场上立足，国内企业需要提高产品质量和稳定性，并且更加关注售后服务。同时，他们也要积极拓展国际市场，与国外企业进行技术合作，并且加强品牌推广。国产静电卡盘的光明前景虽然国产化的路上面临着困难和挑战，但是国内半导体企业在静电卡盘国产化方面已经取得了令人瞩目的进展。随着技术的不断成熟和品牌的提升，国产静电卡盘的市场份额逐渐增加。并且，中国作为全球最大的半导体市场，对静电卡盘的需求将会持续增长。静电卡盘国产化，是中国半导体产业实现自主可控的重要一环。虽然面临着技术突破和市场竞争的艰辛，但是中国半导体企业正积极推动静电卡盘的国产化进程。相信随着时间的推移，国产静电卡盘将更加成熟，并在市场上展现出强大的竞争力。