Horiba 压力控制器GR-312F是GR-300系列中的畅销产品，实现晶圆背面气体的压力控制器，该气体用于冷却晶圆表面温度。Horiba 压力控制器GR-312F拥有高的稳定性和精确性，常用气体是氦气和氩气。GR312F压力控制器是0-5V或者RS485通讯，可以选择GR317F，实现EtherCAT通讯。
