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ESC静电卡盘设计开发及overhaul
液体流量控制 injection valve，LFC 等
设备备件支持+后道功率封装耗材
光刻机
MKS真空压力计
HORIBA系列晶圆背面冷却系统压力控制器
MC3.GP IMP 12

MC3.GP IMP 12"
MEHD2 V1500 IMP 12

MEHD2 V1500 IMP 12"
MEHD2 V1500 IMP 12

MEHD2 V1500 IMP 12" PI
MEHD2 V1500 IMP 12

MEHD2 V1500 IMP 12" 陶瓷
VIISta 810XER IMP 12

VIISta 810XER IMP 12" PI
VIISta 810XER IMP 12

VIISta 810XER IMP 12"
VIISta 810XER IMP 8

VIISta 810XER IMP 8"
MC3.GP IMP IMP12

MC3.GP IMP IMP12"
AH2300/3000 IMP8

AH2300/3000 IMP8" PI
AH2300/3000 IMP8

AH2300/3000 IMP8" 硅胶
AH2300/3000 IMP12

AH2300/3000 IMP12"硅胶
SIC深沟槽刻蚀 6

SIC深沟槽刻蚀 6" Flat