时间：2024-06-29
由于众多周知的原因，国内半导体企业迎来转型机遇，自研半导体设备不断替代老旧设备是行业的发展趋势。值得注意的是，对于产业链条长、复杂性高的半导体产业，产业链上下游的高度协同，是设备等产业链重要节点持续发展的必经之路。设备企业需进一步强化集成能力，与晶圆制造企业、封装测试企业进行网络化协同创新，新一代半导体设备的推出尤其需要产业链上中下游企业紧密合作。
在半导体制造工艺和LCD制造工艺中，为固定和支持晶片，避免处理过程中出现移动或者错位现象，常常使用静电卡盘(简称ESC:Electrostaticchuck).静电卡盘采用静电引力来固定品片，比起以前采用的机械卡盘和真空吸盘，具有很多优势。静电卡盘减少了在使用机械卡盘由于压力，碰撞等原因造成的晶片破损;增大了品片可被有效加工的面积;减少了品片表面腐蚀物颗粒的沉积;使晶片和卡盘可以更好的进行热传导;并且可以在真空环境下工作，而真空吸盘不可以。
静电卡盘ESC 的组成及分类
一种典型的静电卡盘由绝缘层和基座组成。绝缘层用来支持晶片，电极则埋藏在绝缘层之下的导电平面。静电卡盘是利用品片和电极之间产生的库仑力或是利用品片和电极之间产生的Johnsen-Rahbek力来达到固定品片的目的。基座则用来支持绝缘层，接入RF偏压:作为冷井或供热源，来控制晶片的温度。一般陶瓷层和基座之间用一种粘接剂来粘接。静电卡盘依据电极的个数主要分为单电极，双电极。所谓单电极，顾名思义，就是只有一个电极。而双电极则有两个电极。单电极为了能产生静电引力，必需对晶片施加电压，必需在等离子体起作用的情况下才能产生静电引力。而双电极则没有这个必要。同双电极相比，单电极的最大的好处是用低电压就可以产生大的静电力，但是单电极的残余电荷不好处理，导致在释放时，容易出问题。双电极在静电释放这一方面占据很大的优势。
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